微量氣體流量計一種用于測量氣體流量的儀表，多被安裝在管路中實現對煤氣、天然氣、氫氣、氮氣、苯、二氧化硫、甲烷、過氧化氫等各種各樣的化學氣體的測量。
 

　　各種不同類型的微量氣體流量計其輸出的信號只與工況流量呈正比例(線性刻度)關系，其與被測介質標態流量之間的刻度只能依據其某一特定工況(如設計工況)來確定，如果現場的實際工況(如介質的溫度、壓力、成分及流量范圍等)已經發生了變化，這時仍按原刻度關系讀取標態流量，顯然就會產生不同程度的附加誤差，使流量讀數(原刻度)失去意義。要想準確地測量氣體流量，則就要求使用現場實際工況與設計工況一致并保持穩定。然而實際工況經常發生變化，也正因為變化才需要快速、可靠地知道變化后實際工況下條件下的準確流量，否則，測量的意義也就不復存在。
 

　　微量氣體流量計的主要特點是不受溫度與壓力變動的影響，其顯示讀數直接指示氣體的質員流量，其安裝在管路中記錄流過的氣體量。如此精密的儀器在使用時應該注意什么呢？
 

　　1.當儀表的工作條件變換時，對儀表的零位應重新加以調整。同時，儀表的導管必須水平安裝，要用水平儀校準。否則將增大工作條件變化對零位漂移的影響。機架更不可有震動或搖擺等情況故不宜在船舶上使用。
 

　　2.對相當于0—100kg/cm2壓力、0～7標升/小時流量(空氣)范圍內的大量測試數據進行關聯運算，用最小二乘法原理求直線回歸方程，其相關系數λ值均在0.999～0.9999范圍內，證明儀表具有良好的線性度。但線性度與量程大小有著流量越大，非線性越嚴重，所以一般把量程限定在0～4標升/時(空氣)以內，以確保良好的線性度。為了能測量大流量而又保證線性度，可采用分流原理來擴展儀表的量程。如采取旁路管、文丘利管、孔板等配合使用，量程可分別擴大到每小時幾十、幾百、幾千標升，直至幾萬標立方。
 

　　3.雖然真實氣體的比熱隨壓力的不同而有變化甚至某些氣體的變動幅度還比較大，但儀表的測量精度仍能保持桂一定范圍內(見表2)。
 

　　4.導管材質的選擇，除了考慮耐腐蝕性以外，以選用導熱性能較好的材料為佳。以測目氮氣為例，同樣在0—100kg/cm2壓力及0～7標升/小時流量的范圍內測試，用鎳管的測量精度為2～2.5%而用不銹鋼的則為3～4%(鎳的導熱系數約為不銹鋼的三倍)。
 

　　5.由于微量氣體流量計必須在氣體比熱相對穩定的情況下才能進行正常工作所以凡是氣體成分不穩定、氣體帶霧沫以及工作條件逼近氣體的液化臨界區等情況由于比熱值很不穩定，均不宜使用這種儀表。